稀釋氣質量流量計可控制到0-10SLM；
源氣質量流量計可控制到0-100SCCM；
4路校準氣入口和1路吹掃口；
1路稀釋氣入口，5路輸出口和1路排空口

稀釋入口：1路標準；

源氣入口：4路標準，1路吹掃；

稀釋氣質量流量控制：0-10SLM（0-20SLM可選）；

源氣氣質量流量控制：0-100SCCM/0-2SLM；

流量精度：≤±1%FS；

流量重復：≤±0.15%FS；

線    性：≤±0.5%FS；

入口壓力：20-35 PSIG；

多路輸出：標準6個輸出口；

可選件：內置臭氧發(fā)生器

5SLPM下0.05-1.5ppm；1%SP或5SLPM下2ppb

紫外吸收光度計

量程：0-0.5，1.0，2.0ppm

內置滲透管氣體發(fā)生器

內置臭氧發(fā)生器參數：

輸出：5SLPM下0.05-1.5ppm；

精度：1%SP或5SLPM下2ppb；

流量：100±1 SCCM；

內置紫外吸收光度計參數：

量程：0-0.5，1.0，2.0ppm；

線性：±1ppb或±1%FS；

精度：±1ppb；

內置滲透爐參數：

材質：玻璃或特氟龍；

內置臭氧發(fā)生器參數：

輸出：5SLPM下0.05-1.5ppm；

精度：1%SP或5SLPM下2ppb；

流量：100±1 SCCM；

內置紫外吸收光度計參數：

量程：0-0.5，1.0，2.0ppm；

線性：±1ppb或±1%FS；

精度：±1ppb；

內置滲透爐參數：

材質：玻璃或特氟龍；